直流磁控溅射制备AlN薄膜 氮气流量多少为好啊,氮气和氩气的比例多少呢,还有镀膜气压多少呢?新买来的仪器,不清楚工艺条件,镀膜一个小时,几乎没有生长出薄膜,很着急,

直流磁控溅射制备AlN薄膜 氮气流量多少为好啊,氮气和氩气的比例多少呢,还有镀膜气压多少呢?新买来的仪器,不清楚工艺条件,镀膜一个小时,几乎没有生长出薄膜,很着急, 直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因 氮化铝在一定条件下可通过如下反应制得：Al2O3＋N2＋3C=2AlN＋3CO,现欲制备13.3吨氮化铝,需要参加反应的氮气质量多少? 直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别到底是什么啊 磁控溅射法有哪些种类?反应磁控溅射法是不是分为直流磁控溅射法和交流磁控溅射法还有射频磁控溅射 非平衡磁控溅射 请问磁控溅射中镀氧化锌薄膜 靶材选锌还是氧化锌, 用磁控溅射法法制备二氧化硅薄膜,二氧化硅薄膜的硬度与通氧量有什么关系? 氮气流量单位是什么 直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下还有就是为什么直流磁控溅射只能用金属靶材?粘贴无效哈 聚乙烯薄膜的制备方法有几种? 纳米薄膜的制备方法有哪几种 实验室制备PET薄膜的实验方案, 薄膜材料的特征,以及制备技术 透明导电薄膜的制备技术? 1公斤压力氮气,管径12mm,敞口排放,每分钟流量多少,请给出公式. 氮气流量70SCFM等于多少升每分钟啊挺着急的 直径200mm的氮气管道瞬时流量5000立方米/小时,其流速多少?计算公式? 磁控溅射镀膜中 氧气 氩气 氮气 分别起什么主要作用?